Khí chuẩn ( standar gas)

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Fuel Gases	CH4、C2H2、CO、
Welding Gases	Ar-He、Ar-H2、Ar-O2、Ar-CO2、CO2、O2、N2、H2 、Ar-He-CO2、Ar-He-N2、
Liquid Gases	C2H4、SO2、CO2、NO2、N2O、C3F6、H2S、HCl、BCl3、BF3，SF6
Calibration Gases	CH4-N2、NO-N2、H2S-N2、CO2-N2、SF6-N2、SiH4-He
Doping Gases	AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、
Crystal growth	SiH4、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、Ar、He、H2
Gas phase etching	Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
Plasma etching	SiF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、NF3、SF6、BCl3、N2、Ar、He
Ion Beam Etching	C3F8、CHF3、CClF3、CF4
Ion implantation	AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、N2、H2
CVD Gases	SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
Diluent Gases	N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
Doping Gases	SiH4、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、N2、Ar、He、H2

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